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我公司承担02专项课题顺利通过国家正式验收

北广科技承担的“射频发生器研发与产业化”国家科技重大专项02专项课题,已于2019年1月26日完成了综合绩效评价,顺利通过国家正式验收。这标志着北广科技首次承担的国家科技重大专项任务圆满完成。

“02专项”是《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020年)》确定的十六个重大专项之一,旨在开发集成电路关键制造装备,掌握具有自主知识产权的成套先进工艺及相关新材料技术,打破我国高端集成电路制造装备与工艺完全依赖进口的状况。公司研发的射频发生器产品达到了研制任务合同书的各项要求,具备了进入集成电路行业的技术条件。课题促进了国内射频发生器零部件行业的技术水平和产业发展,提升了产业竞争力,推动了我国集成电路等行业关键制造设备的国产化进程。

“射频发生器研发与产业化”课题,面向极大规模集成电路制造装备及成套工艺对射频发生器的功率稳定度、精度和线性度等技术要求,突破了一系列关键技术瓶颈,研发了三款射频发生器产品。新产品通过了北京北方华创微电子装备有限公司的工艺测试验证考核,并且通过了第三方科学技术成果评价,具备国际先进水平。此前,本课题已通过了组织严格的现场测试、档案正式验收和内部验收。本轮正式验收,评审专家组听取了课题完成情况报告和现场测试组的验收测试报告,审阅了验收资料,经过专家组问询、讨论和逐项打分,认定课题已经完成合同书中约定的各项考核指标,一致同意课题通过验收!

“射频发生器研发与产业化”课题,共获得了4000多万元的国家政府资金资助,申请了42项专利(其中国内发明专利34项,国际发明专利3项),备案发布了3项产品的企业标准,建设了小批量生产线,培养打造了一支专业化的产业团队。射频发生器的研发成功和产业化实施,为公司打造高端产品,向专业化、产业化和国际化战略发展,实现北广科技“做强国内行业之首、创建国际知名企业”做出了贡献!